百級/千級/萬級電子廠潔凈室潔凈度檢測項(xiàng)目及要求 檢測要求--安衡檢測
10萬級無塵室主要采用的回風(fēng)方式: 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口; 2.當(dāng)采用過道回風(fēng)時(shí),在過道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。送風(fēng)口風(fēng)速米/秒: 1.孔板孔口3~5; 2.側(cè)送風(fēng)口: (1)貼附射流2~5; (2)非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5,對側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5?;仫L(fēng)口風(fēng)速(米/秒): 1.無塵室回風(fēng)口不2; 2.過道內(nèi)回風(fēng)口不。
表面導(dǎo)靜電:地面、墻面和工作臺等表面導(dǎo)靜電性能的檢測環(huán)境溫度應(yīng)在15℃~35
電子廠潔凈室潔凈度檢測項(xiàng)目及要求 3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于或大于5Pa。
電子廠凈化工程是電子工業(yè)廠房建造不可缺少的一部分,也是對生產(chǎn)環(huán)境的一種改善。電子廠潔凈車間內(nèi)應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)罩和局部送風(fēng)系統(tǒng)。當(dāng)采用自然通風(fēng)時(shí),必須設(shè)有機(jī)械通風(fēng)設(shè)施。
在確認(rèn)級別時(shí),應(yīng)當(dāng)使用采樣管較短的便攜式塵埃粒子計(jì)數(shù)器,避免≥5.0μm懸浮粒子在遠(yuǎn)程采樣系統(tǒng)的長采樣管中沉降。在單向流系統(tǒng)中,應(yīng)當(dāng)采用等動力學(xué)的取樣頭。
3、壓力:在凈化工程內(nèi)檢測的壓力主要分為大氣壓力和靜壓差。大氣壓力即通常意義上的氣壓,很多行業(yè)對于生產(chǎn)環(huán)境的氣壓有著一定的要求。而靜壓差則需要在封閉的電子無塵車間室內(nèi)進(jìn)行檢測。
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